太阳能光伏硅晶片冲洗甩干机用去离子水机的生产工艺涉及设备设计、材料选择、系统配置、工艺参数控制及安全维护等多个环节,以下是详细介绍:
一、设备设计
外形与结构:
设备主机外形尺寸通常为(左右)宽650mm×(前后)厚550mm×高1280mm,可根据实际需求进行调整。
设备采用标准化或个性化造水工艺制水,运行成本低,设备可靠性高。
系统配置:
配备高精度的电阻率、压力、流速和管径监测系统,确保水质符合SEMITOOL、Verteq、北京第45所等标准要求。
采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟等耐腐蚀材料,保证水质的纯净度。
二、材料选择
过滤材料:
选用高效的过滤材料,如反渗透膜、离子交换树脂等,以去除水中的离子、有机物和微生物等杂质。
过滤材料需定期更换,以保证过滤效果。
管道与接头:
管道和接头采用不锈钢、PFA高纯管件等耐腐蚀材料,避免水质在传输过程中受到污染。
管道连接需紧密,防止漏水现象发生。
三、系统配置与工艺参数控制
预处理系统:
包括砂滤、碳滤等步骤,去除水中的悬浮物、余氯等杂质,为后续处理提供稳定的水质条件。
预处理系统需定期反洗和更换滤料,以保持其处理效果。
反渗透系统:
利用反渗透膜的选择透过性,去除水中的大部分离子和有机物,得到较为纯净的水。
反渗透系统需定期清洗和更换反渗透膜,以防止膜污染和堵塞。
离子交换系统:
通过离子交换树脂进一步去除水中的离子,提高水的电阻率。
离子交换树脂需定期再生和更换,以保持其交换能力。
终端过滤系统:
采用微孔滤膜等终端过滤材料,去除水中的微小颗粒和微生物等杂质,确保水质的纯净度。
终端过滤系统需定期更换滤膜,以防止滤膜堵塞和污染。
工艺参数控制:
严格控制各处理单元的工艺参数,如反渗透系统的压力、流量、回收率等,以及离子交换系统的流速、再生周期等。
定期对水质进行检测和分析,根据检测结果调整工艺参数,确保水质稳定达标。
四、安全与维护
安全措施:
设备配备漏电保护、过载保护等安全装置,确保操作人员的安全。
设备运行过程中,操作人员需佩戴防护眼镜、手套等防护用品,防止水质溅到皮肤和眼睛上。
维护保养:
定期对设备进行维护保养,如清洗过滤材料、更换滤膜、检查管道连接等,确保设备的正常运行。
建立设备档案,记录设备的运行状况、维护保养情况等信息,为设备的后续管理提供依据。