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罗茨泵真空系统

  • 型   号:VPM-
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罗茨泵真空系统由罗茨泵和后备泵系统联合而成,既保留了罗茨泵排气量巨大的特点,同时系统可以到达很低的真空值(8×10-2Pa)。

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洁净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。

系统参数:
VPM-010,极限真空度8×10-2Pa,排气速度10m3/h
VPM-030,极限真空度8×10-2Pa,排气速度30m3/h
VPM-050,极限真空度8×10-2Pa,排气速度50m3/h

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